フローティングゾーン法

フローティングゾーンホウ

フローティングゾーン法【floating zone technique】

材料を溶融しながら単結晶化を行うゾーンメルト（融液成長）法の一種。半導体基板を作製するための元となるインゴットを引き上げるのに使われる。

資料・データ